The application of molybdenum sputtering targets is mainly concentrated in flat-panel displays, thin-film solar cell electrodes and wiring materials, and semiconductor barrier materials. These materials are based on molybdenum with high melting point, high conductivity, and low specific impedance, and have good Corrosion resistance and environmental performance.
Molybdenum Sputtering Target λεπτομέρειες
Ηεπίπεδος στόχος μολυβδαινίουεπεξεργάζεται από τα υψηλής ποιότητας πιάτα της εταιρείας μας. Έχει τα χαρακτηριστικά της υψηλής πυκνότητας, καμία εσωτερική ρωγμή και φουσκάλες, φωτεινή επιφάνεια, ομοιόμορφο χρώμα και ακριβές μέγεθος.
Οι μικροί στόχοι περιστροφής μολυβδαινίου επεξεργάζονται από υψηλής ποιότητας ράβδους και έχουν τα χαρακτηριστικά των ακριβών διαστάσεων, της ομαλής επιφάνειας, και της υψηλής καθαρότητας.
Οι κανονικοί περιστρεφόμενοι στόχοι μολυβδαινίου μεγέθους παράγονται χρησιμοποιώντας την καυτή ισοστατική διαδικασία συμπίεσης και χαρακτηρίζουν την υψηλή πυκνότητα (πυκνότητα έως 10.15 κ/λεπτούς κόκκους, και καλή σχηματοποίηση.
Συμβατική πυκνότητα: 10g/cm³~10.15 g/cm³,
Ειδική πυκνότητα διεργασίας: μεγαλύτερη από 10.15γ/cm³.
Οι απαιτήσεις για τους στόχους ψεκασμού είναι υψηλότερες από αυτές στην παραδοσιακή βιομηχανία υλικών. Οι γενικές απαιτήσεις περιλαμβάνουν: μέγεθος, επίπεδο, καθαρότητα, περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες, πυκνότητα, μέγεθος σιταριού και έλεγχο ελαττωμάτων. υψηλότερες απαιτήσεις ή ειδικές απαιτήσεις Συμπεριλαμβανομένων: τραχύτητα επιφάνειας, αξία αντίστασης, ομοιομορφία μεγέθους σιταριού, ομοιομορφία σύνθεσης και δομής, περιεχόμενο και μέγεθος ξένων υλικών (οξειδίων), μαγνητική διαπερατότητα, εξαιρετικά υψηλή πυκνότητα και εξαιρετικά λεπτοί κόκκοι, κ.λπ. Το επίστρωμα ψεκασμού μαγνητρονίου είναι ένας νέος τύπος φυσικής μεθόδου επιστρώματος ατμού. Χρησιμοποιεί ένα σύστημα ηλεκτρονίων για να εκπέμπει και να εστιάσει ηλεκτρόνια στο υλικό που πρόκειται να καλυφθεί, έτσι ώστε τα ψεκασμένα άτομα να ακολουθούν την αρχή μετατροπής ορμής και να πετάξουν μακριά από το υλικό με υψηλότερη κινητική ενέργεια. Αυτό το καλυμμένο υλικό ονομάζεται στόχος ψεκασμού. Τα υλικά στόχου που εκπέμπουν περιλαμβάνουν μέταλλα, κράματα, κεραμικές ενώσεις, κ.λπ.
Το επίστρωμα ψεκασμού μαγνητρονίων είναι ένας νέος τύπος φυσικής μεθόδου επιστρώματος ατμού. Έναντι της μεθόδου επιστρώματος εξάτμισης, έχει τα προφανή πλεονεκτήματα σε πολλές πτυχές. Ως σχετικά ώριμη τεχνολογία που έχει αναπτυχθεί, ο ψεκασμός μαγνητρονίου έχει εφαρμοστεί σε πολλούς τομείς.
Η τεχνολογία ψεκασμού, το ψεκασμό είναι μια από τις κύριες τεχνολογίες για την προετοιμασία των υλικών λεπτής ταινίας. Χρησιμοποιεί ιόντα που παράγονται από μια πηγή ιόντων για να επιταχύνει και να συγκεντρωθεί σε ένα κενό για να σχηματίσει μια ακτίνα ιόντων υψηλής ταχύτητας που βομβαρδίζει τη στερεή επιφάνεια. Τα ιόντα και τα άτομα στην στερεή επιφάνεια παράγονται. Η ανταλλαγή κινητικής ενέργειας προκαλεί τα άτομα στη στερεή επιφάνεια για να αφήσουν το στερεό και να εναποθέσουν στην επιφάνεια του υποστρώματος. Το βομβαρδισμένο στερεό είναι η πρώτη ύλη για την προετοιμασία λεπτών ταινιών που κατατίθενται με την ψεκασμό, η οποία ονομάζεται στόχος ψεκασμού. Οι διάφοροι τύποι ψεκασμένων υλικών λεπτής ταινίας έχουν χρησιμοποιηθεί ευρέως στα ολοκληρωμένα κυκλώματα ημιαγωγών, τα ηλιακά φωτοβολταϊκά, τα μέσα καταγραφής, τις επίπεδες επιδείξεις, και τα επιστρώματα επιφάνειας κομματιών προς κατεργασία.
Οι στόχοι εκτόξευσης χρησιμοποιούνται κυρίως στις βιομηχανίες ηλεκτρονικών και πληροφοριών, όπως τα ολοκληρωμένα κυκλώματα, η αποθήκευση πληροφοριών, οι οθόνες υγρών κρυστάλλων, οι μνήμες λέιζερ, οι ηλεκτρονικές συσκευές ελέγχου, κ.λπ. μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν στον τομέα της επίστρωσης γυαλιού· μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν σε ανθεκτικά στη φθορά υλικά, υψηλής θερμοκρασίας αντίσταση διάβρωσης από διακοσμητικές προμήθειες και άλλες βιομηχανίες.
Οι στόχοι μολυβδαινίου χρησιμοποιούνται ευρέως σε πολλούς τομείς. Οι ακόλουθες είναι μερικές κοινές χρήσεις στόχων μολυβδαινίου:
1. Απόθεση λεπτής ταινίας: Οι στόχοι μολυβδαινίου μπορούν να χρησιμοποιηθούν για να προετοιμάσουν τις λεπτές ταινίες μολυβδαινίου χρησιμοποιώντας τη φυσική εναπόθεση ατμού (ή τον ψεκασμό Αυτές οι ταινίες έχουν συνήθως τις άριστες αγώγιμες ιδιότητες, τα υψηλά σημεία τήξης και την αντίσταση διάβρωσης, και επομένως χρησιμοποιούνται συχνά για να προετοιμάσουν τα αγώγιμα στρώματα, τα στρώματα εμποδίων, τις γραμμές σύνδεσης μετάλλων και άλλες εφαρμογές. Οι λεπτές ταινίες μολυβδαινίου είναι ένα κοινό υλικό σε περιοχές όπως η κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και τα ηλιακά κύτταρα λεπτής ταινίας.
2. Εξοπλισμός κενού και επίστρωμα θερμικού φραγμού: Λόγω του υψηλού σημείου τήξης του μολυβδαινίου, του χαμηλού ποσοστού εξάτμισης και της καλής θερμικής σταθερότητας, οι στόχοι μολυβδαινίου μπορούν να χρησιμοποιηθούν για να προετοιμάσουν τα συστατικά στον κενό εξοπλισμό, όπως οι βαλβίδες κραμάτων βολφραμίου-μολυβδαινίου, οι θερμαντήρες βολφραμίου-μολυβδαινίου, κ.λπ.
Επιπλέον, το μολυβδαίνιο μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για να προετοιμάσει τα επιστρώματα θερμικού φραγμού σε εφαρμογές υψηλής θερμοκρασίας για να βελτιώσει την αντίσταση θερμότητας των υλικών και να προστατεύσει τα βασικά υλικά.
3. Οπτική επίστρωση:Στόχοι μολυβδαινίουχρησιμοποιούνται επίσης στον οπτικό τομέα. Με την εναπόθεση λεπτών ταινιών μολυβδαινίου, μπορούν να παραχθούν επιστρώσεις με συγκεκριμένες οπτικές ιδιότητες, όπως καθρέφτες, φίλτρα και ταινίες μετάδοσης. Οι ταινίες μολυβδαινίου έχουν καλές ανακλαστικές ιδιότητες στην υπέρυθρη φασματική περιοχή και επομένως χρησιμοποιούνται συνήθως στην υπέρυθρη οπτική και τα συστήματα λέιζερ.
4. Ηλεκτρονικές συσκευές: Οι στόχοι μολυβδαινίου έχουν επίσης σημαντικές εφαρμογές στην κατασκευή ηλεκτρονικών συσκευών. Για παράδειγμα, στην τεχνολογία επίδειξης, οι ταινίες μολυβδαινίου μπορούν να χρησιμοποιηθούν ως οπίσθια φύλλα για τις επιδείξεις με την καλή ηλεκτρική αγωγιμότητα και τη θερμική σταθερότητα.
Επιπλέον, το μολυβδαίνιο χρησιμοποιείται επίσης ως υλικό επαφής, ηλεκτροδίων και καλωδίων σε ηλεκτρονικές συσκευές.
5. Έρευνα υλικών και εργαστηριακές εφαρμογές: Οι στόχοι μολυβδαινίου χρησιμοποιούνται επίσης ευρέως στην επιστημονική έρευνα και τις εργαστηριακές εφαρμογές. Μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως υλικό στόχων για να μελετήσει την ανάπτυξη ταινιών, την τροποποίηση επιφάνειας και τις υλικές ιδιότητες.
Επιπλέον, οι στόχοι μολυβδαινίου μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν για την προετοιμασία δειγμάτων ηλεκτρονικού μικροσκοπίου (ΣΕΜ), τα πρότυπα φασματογράφου φθορισμού ακτίνων Χ και άλλες εφαρμογές
The properties of molybdenum sputtering targets are the same as (pure molybdenum or molybdenum alloys). Molybdenum is a metallic element primarily used in steel. Most of it is directly used in steelmaking or cast iron. Small amounts of molybdenum are smelted into ferromolybdenum or molybdenum foil, which is then used to make steel. It can improve t